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简介
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科研成果
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Initial reactions in chemical vapor deposition of Ta
2
O
5
from TaCl
5
and H
2
O. An Ab initio study
Magdalena Siodmiak,
Gernot Frenking
, Anatoli Korkin
University of Marburg
Motorola
科研成果
:
期刊稿件
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文章
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同行评审
12
引用 （Scopus）
综述
指纹
指纹
探究 'Initial reactions in chemical vapor deposition of Ta
2
O
5
from TaCl
5
and H
2
O. An Ab initio study' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Chemistry
CCSD
66%
Chemical Vapor Deposition
100%
DFT-B3LYP Calculation
66%
formation
100%
Møller-Plesset Perturbation Theory
33%
Quantum Chemical Calculations
33%
Tantalum
33%
Transition State
66%
Vapor Deposition Process
33%
Vibrational Frequency
33%